Anelli Collettori Elettrici per Apparecchiature a Semiconduttore

Gli anelli collettori elettrici sono componenti rotanti di precisione di fascia alta per le apparecchiature a semiconduttore, progettati specificamente per la produzione automatizzata, l'alta precisione e le condizioni operative ad alta affidabilità nell'industria dei semiconduttori. Sotto rotazione continua a 360° senza restrizioni, garantiscono una trasmissione stabile di potenza, segnali encoder e vari segnali sensibili. Progettati con fori passanti centrali e giunti rotanti pneumatici o idraulici opzionali, consentono una trasmissione senza soluzione di continuità di elettricità, segnali, gas e liquidi. Questa soluzione integrata supporta un'ampia gamma di apparecchiature a semiconduttore durante le fasi di lavorazione dei wafer, confezionamento, test e automazione.

Applicazioni principali nell'intero processo di produzione dei semiconduttori

Gli anelli collettori elettrici sono ampiamente applicati nell'intero processo di produzione di fabbricazione di wafer a semiconduttore, confezionamento di chip e test del prodotto finito e sono adatti ai meccanismi rotanti delle principali apparecchiature a semiconduttore.

Applicazioni chiave:

1. Fabbricazione di wafer front-end

Utilizzati in apparecchiature come rivestitori e sviluppatori di fotorresistenza, macchine per l'incisione, sistemi di deposizione a film sottile PVD/CVD e macchine CMP. Ideali per mandrini rotanti, stadi target o teste di lucidatura, con fori passanti per portawafers, linee del vuoto e condutture del gas.

2. Confezionamento e test back-end

Applicabili a taglio wafer, die bonding, wire bonding e macchine per lo stampaggio. Supportano tavole di indicizzazione rotanti e meccanismi pick-and-place, con fori passanti per linee del vuoto e cavi di test o di azionamento.

3. Ispezione e smistamento dell'intero processo

Per wafer prober, sistemi di ispezione visiva dei chip e apparecchiature di test elettrici. Assicurano una trasmissione del segnale ad alta fedeltà in tavole rotanti o sistemi cardanici, con fori passanti per alberi di messa a fuoco delle lenti o azionamenti delle sonde.

4. Automazione e apparecchiature ausiliarie

Utilizzati in sollevatori rotanti AGV per wafer, robot di linea di produzione e sistemi di movimentazione FOUP. Supportano l'integrazione compatta in giunti rotanti e piattaforme di carico per una trasmissione senza soluzione di continuità di potenza, segnali e fluidi.